curved micromirrors three-dimensional fabrication Gaussian beams surface roughness;
机译:基于离轴镜的光学系统设计,用于椭圆化激光束的圆化,准直和扩展
机译:平面内和平面外双斜镜联动的MEMS多功能光学器件的设计和性能
机译:一镜和两镜三维光学扫描仪-激光束点的位置和精度
机译:使用硅微机械镜对面内传播光进行三维准直
机译:用于内窥镜共聚焦显微镜的MEMS三维扫描镜。
机译:使用小棱镜棱镜和MEMS反射镜的三光束多普勒光学相干断层扫描技术可提高横向分辨率
机译:三梁多普勒光学相干断层扫描,采用小型棱镜望远镜和MEMS镜,提高横向分辨率
机译:采用mEms反射镜的芯片到芯片光互连