「欠陥と向き合うものづくり」

摘要

土屋：私と生津先生で、マイクロ·ナノ工学部門において「マイクロ ·ナノ機械の信頼性研究会」を組織しております。この研究会では MEMS デバイスと MEMS に用いられているマイクロ·ナノスケールの材料の信頼性すなわち機械特性を中心に議論をしております。この度、本誌で特集を企画させていただく機会をいただきましたが、ここでは少しテーマを広げて材料の信頼性を支配する「欠陥」にスポットをあてて、大きな構造体、電子材料も含めた「欠陥」と「信頼性」のかかわりを考える特集とさせていただくことにいたしました。本日はこれに合わせて、執筆者の皆様にお集まりいただき、それぞれの立場、すなわち金属·鋼のような大きもから、半導体、MEMS デバイスのような小さなものまで、どのように欠陥を捉え、見て、考え、操りながら、信頼性を高めようとしているか、意見交換を行いたいと思います。