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机译:大气压化学气相沉积法在集成电路基板的硅基板上覆盖钨薄膜。
Department of Electrical Engineering, High Density Electronics Center (HiDEC), University of Arkansas, Fayetteville, AR 72701;
chemical vapor deposition (CVD); thin films; tungsten;
机译:热敏基材上二氧化硅膜大气压化学气相沉积的大温度范围模型
机译:热敏基材上二氧化硅膜大气压化学气相沉积的大温度范围模型
机译:大气压化学气相沉积法在SiO_2图案化Si(100)衬底上外延生长硅膜
机译:使用环己硅烷的大气压化学气相沉积硅薄膜
机译:在硅和碳衬底上化学气相沉积碳化钨膜。
机译:常压等离子体化学气相沉积法生长掺锌铜的抗菌氧化硅薄膜
机译:大气压等离子体化学气相沉积的非晶硅薄膜的高速率沉积。 (第一个报告)。具有旋转电极的大气压等离子体CVD装置的设计与生产。
机译:单晶硅上LpCVD(低压化学气相沉积)钨膜隧道形成条件