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机译:用于解释高沉积速率磁场配置的大功率脉冲磁控溅射模型
University of Illinois at Urbana Champaign, Urbana, Illinois 61801, USA;
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机译:电磁场协同增强钒涂层的高功率脉冲磁控溅射沉积
机译:大功率脉冲磁控溅射中磁场结构的研究与优化
机译:了解大功率脉冲磁控溅射中的沉积速率损失:I.电离驱动电场
机译:外部磁场辅助大功率脉冲磁控溅射的较高电离和沉积速率
机译:用于互连金属化的高功率脉冲磁控溅射和调制脉冲功率溅射的比较。
机译:大功率脉冲磁控溅射镍薄膜的斜角沉积
机译:了解高功率脉冲磁控溅射中的沉积速率损失:I。电离驱动电场