机译:煅烧工艺对二氧化铈颗粒合成的影响及其对浅沟槽隔离化学机械平面化性能的影响
KCTech, 271-14 Kyeruk-Ri, Miyang-Myon, Anseong-Si, Kyongki-Do, Korea;
calcination; density; particle size distribution; agglomeration; ceria; slurry; STI CMP;
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