机译:TiN薄膜在超高真空快速热化学气相沉积中的初始生长过程
Department of Crystalline Materials Science, Graduate School of Engineering, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, Japan;
TiN; nucleation; grain growth; RTCVD;
机译:YBa / sub 2 / Cu / sub 3 / O / sub 7 // Au和YBa / sub 2 / Cu / sub 3 / O / sub 7 // Au / Si超导薄膜的制备,表征及潜在应用快速等温辅助金属有机化学气相沉积
机译:使用光学显微镜检查热退火等离子体增强化学气相沉积和热线化学气相沉积a-Si:H膜中的晶体成核和生长
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机译:通过使用四甲基硅烷的快速热化学气相沉积在硅片上外延生长3C-SiC(111)薄膜
机译:通过快速热化学气相沉积在硅上形成β-碳化硅薄膜的成核,外延生长和表征。
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