机译:SiCl_4气体感应耦合等离子体反应离子刻蚀用于嵌入式AlGaN / GaN异质结构场效应晶体管
Graduate School of Advanced Technology and Science, The University of Tokushima, 2-1 Minami-josanjima, Tokushima 770-8506, Japan;
AlGaN; GaN; HFET; SiCl_4; ICP; etching; recessed gate; damage;
机译:用于高压开关AlGaN / GaN异质结构场效应晶体管的新型电感耦合等离子体化学气相沉积SiO_2钝化
机译:大功率AlGaN / InGaN / AlGaN / GaN嵌入式栅异质结场效应晶体管
机译:具有凹入式栅极的AlGaN / GaN异质结构上的GaN金属氧化物半导体场效应晶体管
机译:通过光电化学刻蚀和后金属化退火制备的隐栅AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)
机译:AlGaN / GaN异质结构场效应晶体管的工艺开发和表征
机译:质子辐照对常断型AlGaN / GaN栅嵌入式金属-绝缘体-半导体异质结构场效应晶体管随时间变化的介电击穿特性的影响
机译:Al2O3 / AlGaN / GaN结构中的界面陷阱态是通过感应耦合等离子体蚀刻AlGaN表面引起的
机译:温度和电子辐射对alGaN / GaN异质结构场效应晶体管电性能的影响