机译:通过高能激光冲击波清洁去除极端紫外线光刻掩模层上的无损伤颗粒
laser shock wave cleaning (lsc); EUVL; mask cleaning; damage free cleaning; sub-100nm particle removal; dry cleaning;
机译:从极紫外光刻掩模的硅覆盖层中去除纳米粒子的激光冲击
机译:极端紫外线光刻掩模上的激光诱导等离子体暴露:损伤分析
机译:使用极紫外显微镜评估多层相缺陷上的极紫外光刻掩模吸收体图案
机译:通过高能激光冲击清洁(LSC),从EUVL掩模层损坏自由颗粒去除
机译:利用激光诱导的等离子体对光刻光掩模上的纳米膜进行材料改变和无损伤纳米颗粒去除。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:极端紫外线面罩表面清洁效果对光刻工艺性能