机译:使用远程模式等离子体增强化学气相沉积法对AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管进行SiN_x预钝化
School of Electrical Engineering, Seoul National University, Seoul 151-742, Korea;
rnSchool of Electrical Engineering, Seoul National University, Seoul 151-742, Korea;
rnSchool of Electrical Engineering, Seoul National University, Seoul 151-742, Korea;
rnSchool of Electronic and Electrical Engineering, Hongik University, Seoul 121-791, Korea;
rnSchool of Electrical Engineering and Computer Science, Hanyang University, Ansan 426-791, Korea;
rnSchool of Electrical Engineering, Seoul National University, Seoul 151-742, Korea;
机译:在具有光增强化学和等离子体增强原子层沉积氧化物的倒梯形三栅极AlGaN / GaN MOS高电子迁移率晶体管中,由栅极面积和栅极凹槽控制的阈值电压
机译:在硅基板上通过金属有机化学气相沉积法生长的Al_2O_3 / AlGaN / GaN金属-绝缘体-半导体高电子迁移率晶体管在高温下可靠运行的限制
机译:低压化学气相沉积生长的双层SiN
机译:低压 - 化学 - 蒸汽沉积SIN_X钝化ALGAN / GAN HEMTS用于功率放大器应用
机译:在AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管上进行等离子增强化学气相沉积的氮化硅钝化的热稳定性。
机译:AlGaN / GaN金属-氧化物-半导体高电子迁移率晶体管中作为栅极电介质的氧化镓膜的原子层沉积
机译:AlGaN / GaN金属-氧化物-半导体高电子迁移率晶体管中作为栅极电介质的氧化镓膜的原子层沉积