机译:垂直沟槽式微螺距微机电系统探针卡的设计与制作
Electronics Engineering, Catholic University of Daegu, Gyeongsan, Gyeongbuk 712-702, Korea;
Electrical Engineering, Kyungpook National University, Sangju, Gyeongbuk 742-711, Korea;
Mechatronics Engineering, Korea University of Technology and Education, Chungnam 330-708, Korea;
Electrical Engineering, University of Ulsan, Ulsan 680-749, Korea;
ISRC, Electrical Engineering and Computer Science, Seoul National University Seoul 151-742, Korea;
机译:悬臂式微机电系统探针卡,具有晶圆间互连,可进行细间距和高速测试
机译:细间距MEMS探针卡的沟槽型悬臂探针的双步DRIE和Ni-Co电镀工艺效果
机译:坚固的MEMS探针卡,带有垂直导轨,用于精细间距测试
机译:具有深凹沟槽式悬臂的垂直引导MEMS探针卡
机译:用于新型MEMS晶圆探针卡的微探针的设计,仿真,制造和测试。
机译:使用多道拉丝工艺制造50.0μm超细纯铑导线用于探针卡引脚
机译:用细间距的MEMS探针尖端的设计和机械特性评估
机译:商用现货微电子机械系统(mEms)流量测量探针制造和组装