机译:紫外纳米压印光刻中用于液体内荧光对准的可紫外固化液体的开发
Tohoku Univ, IMRAM, Sendai, Miyagi 9808577, Japan;
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机译:具有嵌入的金属对准标记以进行液体对准的UV纳米压印模具的简单制造工艺
机译:荧光紫外可固化树脂的反色调紫外纳米压印光刻
机译:开发用于紫外线纳米压印光刻的新型低粘度紫外线固化聚合物系统
机译:适用于薄膜晶体管液晶显示器的紫外线纳米压印光刻
机译:用于纳米压印和高级纳米加工的柔性聚合物模具和紫外线固化材料
机译:热纳米压印光刻技术用于超分辨率荧光显微镜中的漂移校正
机译:紫外纳米压印光刻技术在减反射膜上的制备及其模具寿命的改善
机译:更新sEmaTECH 0.5 Na极紫外光刻(EUVL)微场曝光工具(mET)。会议:spIE - 极紫外(EUV)光刻V,加利福尼亚州圣何塞,2014年2月23日;相关信息:Journal.publication日期:90481m。