走査透過電子顕微鏡を用いたトモグラフィ（STEMT）における空間分解能の試料厚さ依存性

摘要

（走査）透過電子癖徴鏡（（S）TEM）を用いた厚い試rn料に対するトモグラフィ（（S）TEMT）では，試料内部rnでの電子の散乱過程が複雑であり，現状提案されていrnる明視野（BF）-TEM，BF-STEMおよび暗視野rn（DF）-STEMに関しても，定量的な像解釈がなされrnていない．従って，厚い試料に対して，どのような結rn像方法が最も有効であるかは未だ理論的にも実験的にrnも検証されていないのが現状である．