机译:具有脊柱和周边海湾间引导路径回路的半导体海湾的布局设计
Institute of Industrial Management, National Central University, Chung-Li, 32001, Taiwan;
Institute of Industrial Management, National Central University, Chung-Li, 32001, Taiwan;
bay layout; spine guide-path loop; perimeter guide-path loop; semiconductor fab;
机译:具有300mm FAB数据的半导体FAB布局设计分析:“基于最小距离的布局设计最适合半导体FAB设计吗?”
机译:自动引导车辆系统的可变路径串联布局设计
机译:灵活的海湾结构下基于环路的设施布局设计
机译:半导体晶圆制造中海湾间AMHS的操作建模和仿真
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机译:包含自动化材料处理系统的半导体制造设施的脊线布局设计方法