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机译:混合产品过程的产品和工具组合干扰估计器及其在CMP过程中的去除率估计中的应用
Department of Mechanical Engineering, National Chiao Tung University, 1001 Ta-Hsueh Road, Hsinchu, Taiwan, Republic of China, 30010;
Department of Mechanical Engineering, National Chiao Tung University, 1001 Ta-Hsueh Road, Hsinchu, Taiwan, Republic of China, 30010;
Department of Mechanical Engineering, National Chiao Tung University, 1001 Ta-Hsueh Road, Hsinchu, Taiwan, Republic of China, 30010;
Run-to-Run control; Mix-product; Removal rate; CMP process;
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