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机译:具有加速迭代参数调整功能的超精密晶圆平台的数据驱动可变增益控制策略
State Key Laboratory of Tribology, Department of Mechanical Engineering, Tsinghua University, Beijing, China;
Accelerated iterative tuning; Variable-gain control; accelerated iterative tuning; data-driven; precision motion control; variable-gain control; wafer stage;
机译:时变Q滤波器设计用于迭代学习控制,并应用于超精密双级驱动晶片台
机译:晶圆阶段的数据驱动的迭代前馈调谐:基于工具变量的高阶方法
机译:晶圆平台系统的鲁棒控制的约束迭代反馈调整
机译:具有超精密晶片阶段的PID型滑移面的变增益离散滑模控制策略
机译:结构设计参数对晶圆级CSP球剪切强度的影响及其对加速热循环可靠性的影响。
机译:通过向MDA补充植被斜线和清晰矢量控制策略来加速消除河流盲目性:数据驱动的建模分析
机译:晶圆级强制纹波补偿的前馈控制器的迭代调整