discrete sliding mode control; variable-gain; low-frequency tracking; noise rejection; precision motion control; wafer stage;
机译:超精密晶片台的无状态/无模型可变增益离散滑模控制
机译:具有加速迭代参数调整功能的超精密晶圆平台的数据驱动可变增益控制策略
机译:具有移动PID滑动面的未知MIMO非线性离散系统的数据驱动滑模控制
机译:具有用于超精密晶片级的PID型滑动表面的可变增益离散滑模控制策略
机译:通过使用非线性开关表面和滑模状态估计,对感应电机进行滑模控制。
机译:晶圆尺寸石墨烯的可控滑动转移
机译:具有RCLCL滤波器分流有源电力滤波器的重复滑动的滑模控制策略