Ge量子ドットを有するフリースタンディング構造Siマイクロリング共振器の作製とその光学特性の評価

摘要

LSIの微細化の限界を光配線によって解決するため、Siを用いた発光デバイスの開発が望まれている。その要求に向け、電流注入が可能な2種類のマイクロリング共振器構造を作製し、評価を行ったので報告する。