誘電体バリア放電によるオゾンの広範囲濃度制御と土壌処理への応用

摘要

ピラミッド型同軸円筒電極を用いた水冷型高周波誘電体 バリア放電により広範囲の濃度制御可能なオゾン生成装置 を開発した。また，土壌処理にこのオゾナイザーにより生 成されたオゾンを供給し，オゾン処理効果を確認した。