誘電体バリア放電式オゾン発生器における放電の円相当直径分布とオゾン生成特性の関係

摘要

これまでに，ガス圧力，電極の冷却水温を変えたときのオゾン生成効率，放電維持電圧，ならびに換算電界の関係については数多くの報告があるが，ストリーマの発生様相を定量化してオゾン生成効率との関係を検討した報告はほとhどない。本研究では，ガス圧力や電極の冷却水温を変えたときのオゾン生成効率とDBDの放電様相を調べた。また，画像処理ソフトを用いてDBDの発光様相の定量化を試みた。さらに，発光様相とオゾン生成特性の関係を調べた。