Special Section on Advanced Process Control

Moyne J.; Patel N. S.

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机译：高级过程控制特节

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The twenty-six papers in this special issue are devoted to advanced process control.

机译：本期特刊中的26篇论文致力于高级过程控制。

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来源
《IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing》 |2007年第4期|p.343-344|共2页
作者
Moyne J.; Patel N. S.;
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作者单位

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收录信息美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类一般性问题;
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