公开/公告号CN111624954B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-04
原文格式PDF
申请/专利权人 妙微(杭州)科技有限公司;
申请/专利号CN201910185629.0
发明设计人 孔泉;
申请日2019-03-12
分类号G05B19/418(20060101);
代理机构33283 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人何碧珩
地址 311121 浙江省杭州市余杭区余杭街道文一西路1818-2号15幢605、606、607室
入库时间 2022-08-23 11:53:49
机译: 用于在芯片生产设备中获取生产数据的高级过程控制方法和高级过程控制系统
机译: 用于在芯片生产设备中获取生产数据的高级过程控制方法和高级过程控制系统
机译: 无人机系统,无人机,流程控制装置,无人机系统过程控制方法,以及无人机系统的过程控制程序