机译:使用气体开关提高快速热氧化物的可靠性
Gas switching; Rapid thermal oxidation; Reliability; Spike ramp;
机译:利用气体切换提高快速热氧化物的可靠性
机译:多晶硅后栅快速热氮化处理,可减少硼的渗透并提高氧化物的可靠性
机译:后氧化退火对快速热薄栅氧化物可靠性的影响
机译:一种提高快速热氧化物可靠性的新型气体切换方法
机译:通过快速热处理制造的用于金属氧化物半导体场效应晶体管应用的直接隧道栅氧化物的研究。
机译:CF4等离子体处理HfO2栅电介质的非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的电性能和可靠性提高
机译:通过快速热氧化形成高掺杂的砷化镓层,然后通过硅封镓砷化镓快速热退火
机译:快速热氧化和快速热退火技术制备的薄氧化物辐射响应