Guest Editorial Special Section on the 2019 SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference

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• 来源
  《IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing》 |2020年第3期|319-321|共3页
• 作者

  Bickford Jeanne Paulette; Patterson Oliver D.; Radloff Stefan; Werbaneth Paul;

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• 作者单位

  GLOBALFOUNDRIES Essex Jct VT 05452 USA;

  ASML San Jose CA USA;

  Intel Chandler AZ USA;

  Hitachi High Technol Tokyo Japan|Tegal Japan Inc Fujisawa Kanagawa Japan|Tegal Corp Mkt & Applicat Petaluma CA USA|Intevac Inc Santa Clara CA USA;

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• 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
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• 关键词