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机译:III–V IC制造中使用CAMP负性光刻胶的剥离工艺面临的挑战
Skyworks Solut Inc Proc Engn Newbury Pk CA 91320 USA;
Lift-off; CAMP; negative photoresist; nLOF; loading effect; retrograde profile; bulk effect;
机译:微米分辨率的海马神经元基于硅烷的图案化:用于基板制造的光刻胶和激光烧蚀工艺中的关键变量
机译:微米分辨率的海马神经元基于硅烷的图案化:用于基板制造的光刻胶和激光烧蚀工艺中的关键变量
机译:金属基板上的微射RF同轴发射器的制造方法结合正和负光刻胶工艺
机译:亚微米接触光刻技术,用于蚀刻和剥离应用,使用具有可控斜率的i线负性光刻胶,
机译:铟镓锌氧化物和锌锡氧化物薄膜晶体管的制造工艺评估和负偏压照明应力研究。
机译:机械磨损的水溶性剥离抗蚀剂和裸基板的无光致抗蚀剂图案化:朝向透明电极的绿色制备
机译:通过水溶性剥离抗蚀剂和裸基板的机械磨蚀来实现无光刻胶图案化:朝向透明电极的绿色制造。
机译:用于交叉电容器结构制作的厚负光刻胶的优化。