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机译:微米分辨率的海马神经元基于硅烷的图案化:用于基板制造的光刻胶和激光烧蚀工艺中的关键变量
机译:微米分辨率的海马神经元基于硅烷的图案化:用于基板制造的光刻胶和激光烧蚀工艺中的关键变量
机译:在非平面基板上细间距电互连的图案:利用激光烧蚀和电沉积光刻胶的方法之间的比较
机译:高分辨率HSQ光致抗蚀剂的纳米级图案化,采用台式超紫外激光干涉光刻技术
机译:通过丝网印刷和激光烧蚀获得的用于微波应用的LTCC基板上的高分辨率图案
机译:飞秒脉冲激光烧蚀和硅衬底上用于MEMS制造的3C碳化硅膜的图案化。
机译:机械磨损的水溶性剥离抗蚀剂和裸基板的无光致抗蚀剂图案化:朝向透明电极的绿色制备
机译:飞秒脉冲激光烧蚀并在MEMS硅衬底上对3C-SiC膜进行图案化