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机译:13纳米极紫外光刻
机译:用极紫外显微镜观察极紫外光刻掩模上残留型薄吸收体缺陷
机译:激光生产的基于等离子体的极紫外光源技术,用于大批量制造极紫外光刻
机译:在水,氧气或氧气/臭氧混合物的存在下通过极紫外辐射抑制碳生长并去除极紫外光刻镜上的碳沉积物
机译:极紫外光刻中的深紫外带外贡献:预测和实验
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:迈向极紫外光刻的高精度反射计
机译:用于极紫外光刻的13nm光学计量
机译:用于极紫外光刻的13nm光学计量