机译:硅微加工用于自对准光纤交叉连接器的电磁扭转镜
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机译:自由空间微加工光学开关中的自对准镜和V形槽
机译:集成式多晶硅和DRIE体硅微加工技术,用于静电扭转执行器
机译:通过硅微加工制造的用于光开关器件的改进的静电驱动微扭转镜
机译:自对准DNA低聚物和DNA低聚物在二氧化硅/硅上的EBL图案化阳离子SAMS上的沉积[100]
机译:使用使用AuPdPtCu和IR和IR和IR的MACE方法自对准高纵横比硅3D结构的晶圆级集成
机译:硅,多晶硅和铝制表面微加工扭转镜的机械和光学特性