薄膜PVライン用レーザパターニング装置開発

摘要

川崎重工業は、薄膜太陽電池の製造に用いるし-ザパターニッグ装置を開発した。特殊なし-ザ照射装置と搬送部で構成され、ガラス基板ガレ-ザ照射装置上を通過すると同時に超高速のスブライブ加工ガできるため、従来のガラス基板を停止させ、往復動作をさせながらし一ザを照射するスウライブ加工方式などと比べ、生産性の向上や高品質なスウライブ加工を可能とした。