Aktuelle Situation der Mikrosystemtechnik - MEMS-Technologie in Japan

摘要

Im Sommer 2007 erschien in den mstnews eine aktuelle Übersicht von Miwako Waga, der Geschäftsführerin des Global Emerging Technology Institute (GETI) in Tokio, über die Situation der Mikrosystemtechnik in Japan, die hier auszugsweise wiedergegeben wird.rnDie öffentliche Förderung der Mikrotechnik in Japan begann Anfang der 90er Jahre. Das frühere MITI und heutige METI (Ministry of Economy, Trade and Industry) förderte ab 2001 ein Zehnjahresprogramm (Micromachine Technology Project) für mehr als 20 Firmen und Forschungsinstitute zur Entwicklung der Grundlagen für Mikrosysteme. Im Anschluss daran finanzierte es von 2003 bis 2005 ein Programm, innerhalb dessen MEMS-Sensoren, MOEMS und RF MEMS entwickelt werden sollten. Von dem Programm profitierten die Firmen Omron, Olympus and Matsushita Electric Works sowie die Kyushu University, Tokyo University und Ritsumeikan Uni-versitiy. Darüber hinaus wurde 2004 das Programm MemsONE (MEMS Open Network Engineering System of Design Tools) für Entwicklung, Simulation und Tests von Mikrosystemen gegründet, das acht Firmen und 13 Universitäten mit insgesamt umgerechnet etwa drei Millionen Euro fördert. Und schließlich wurden 2006 noch einmal umgerechnet acht Millionen Euro für ein Projekt aufgewendet, das die Systemintegration von Mikrosystemen mit anderen Systemen (MEMS und Nanotechnologie, MEMS und Elektronik etc.) fördert.