加强智能微系统与MEMS技术研究,为智能制造赋能——访中国工程院院士、清华大学副校长尤政

摘要

MEMS技术作为一门多学科高度交叉的前沿科学领域,在近些年来发展迅速,正成为推动信息技术发展的重要驱动力,广泛应用于航空、航天、生物技术等领域。随着MEMS技术、智能技术的发展,传感器技术的发展正体现出微型化、集成化与智能化的特征。《微纳电子与智能制造》有幸采访到中国工程院院士、清华大学副校长尤政,为读者讲述智能微系统与MEMS技术发展的重要历程和产业发展动态,主要的研究成果,技术发展的瓶颈和挑战,及其未来的发展趋势,并对技术和产业发展的产学研协同合作以及人才培养和评价等方面提出建议。