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微系统／欧洲的MEMS技术未来的机遇与挑战

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来源
《计算机与信息处理标准化》 |1997年第1期|64-65|共2页
作者
战长青; 钱佩信;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 F450.66;
关键词
微系统技术; MEMS技术; 欧洲; 工业预测;

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