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机译:由蒸发和溅射镍形成的硅化镍用于微系统设备的成分分析
Microelectronics and Materials Technology Centre, School of Electrical and Computer Engineering, RMIT University, GPO Box 2476V, Melbourne, Victoria 3001, Australia;
annealing; micromachining; nickel compounds; semiconductor thin films; sputter deposition; vacuum deposition; Auger electron spectroscopy; NiSi; bulk micromachining etchants; evaporated nickel films; mechanical properties; microsystem devices; microsystem fabrication; nickel silicide thin films; sputtered nickel films; vacuum annealing thin films;
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机译:高性能互补金属氧化物半导体器件中硅化镍不连续性形成机理的研究
机译:高性能CMOS器件中硅化镍不连续性的形成机理研究
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