机译:使用MEMS传感器测量气体流量
机译:用于气体的新型单短脉冲MEMS上游热流传感器,用于测量导热系数和热扩散率
机译:MEMS传感器可测量纳升流量
机译:用于含有聚对聚乙烯-C涂层的气体和液体的CMOS MEMS热流传感器
机译:MEMS流量传感器能够测量呼吸,心率和体温的多生命体征
机译:使用MEMS压力传感器和柔性PCB技术的血管内流量计和微型RFID天线的实验评估
机译:借助具有μL/ min分辨率的低偏移MEMS流量传感器精确测量气体体积
机译:一种使用周期性加热测量流速的新方法,以及MEMS技术制造的微流量传感器的传感特性