公开/公告号CN207231567U
专利类型实用新型
公开/公告日2018-04-13
原文格式PDF
申请/专利权人 碧普(瑞典)有限公司;
申请/专利号CN201720539277.0
发明设计人 刘京;
申请日2017-05-15
分类号
代理机构北京安信方达知识产权代理有限公司;
代理人张瑞
地址 瑞典隆德
入库时间 2022-08-22 04:36:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-13
授权
授权
机译: 流量测量装置,具有流量测量装置的气体流量计以及用于燃气表的流量测量装置单元
机译: 用于在限定的溅射区域内进行反应性溅射期间调节工作点的装置包括测量单元,用于计算强度比的评估单元和用于控制反应性气体流量的控制电路
机译: 在非常小的装置中使用的液体或气体流量测量设备包括光检测器,该光检测器吸收激光诱导的荧光强度