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机译:在N / sub 2 / O环境中在反应离子刻蚀的硅表面上热生长的薄氧化物具有卓越的抗损伤能力
机译:在低压N_2O环境或氮注入的硅上生长的超薄栅极氧化物的可靠性
机译:通过阳极氧化修复薄的热生长二氧化硅
机译:金属和有机污染物对硅基晶片上热生长的薄氧化物特性的影响
机译:在N_2O环境中通过硅的快速热氧化而生长的均匀超薄氧化物
机译:表征通过热氧化生长的薄二氧化硅和氮氧化硅。
机译:热生长二氧化硅的超薄转移层作为生物集成柔性电子系统的生物流体屏障
机译:在原子平Si表面热生长的二氧化硅表面和界面的原子粗糙度的产生和生长
机译:热历史对热生长二氧化硅,siO2超薄膜应力相关特性的影响