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机译:通过等离子体离子注入对多晶硅CMOS TFT进行高剂量率氢钝化
机译:等离子体氢化法在多晶硅TFT中两种缺陷的钝化动力学
机译:等离子体加氢在化学气相沉积的细晶多晶硅中的缺陷钝化
机译:交流操作下多晶硅TFT CMOS反相器的降解
机译:ICP等离子体源对CMOS多晶硅TFT进行高效等离子体浸没离子注入加氢的研究
机译:超薄臭氧生长氧化硅的氢等离子体钝化
机译:基于多晶硅TFT的光子计数阵列(PCA)像素内电路的性能
机译:在电子回旋共振等离子体中通过氢化钝化多晶硅缺陷的机制
机译:等离子沉积氮化硅钝化对CmOs集成电路辐射硬度的影响