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机译:固相外延过程中Sb的高活化和后续热处理中的失活
Fujitsu Labs. Ltd., Kanagawa, Japan;
silicon; elemental semiconductors; antimony; solid phase epitaxial growth; ion implantation; diffusion; solid solubility; doping profiles; annealing; dopant activation; solid phase epitaxy; dopant concentration; solid solubility; dopant deactivation;
机译:SPER和尖峰退火活化后热过程中砷失活的实验研究和模拟
机译:纳米级Co-Sb薄膜的相组成和结构形成的热活化过程
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机译:使用快速热处理在固相外延之前进行自然氧化硅团聚
机译:嵌入Sb基质中的热活化Co纳米粒子的纳米级显微镜分析。
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机译:Ti注入LiNbO sub 3的固相外延