A Reassessment of Materials Issues in Microelectromechanical Systems (MEMS)

Liudi Jiang; S Mark Spearing

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A Reassessment of Materials Issues in Microelectromechanical Systems (MEMS)

机译：重新评估微机电系统（MEMS）中的材料问题

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Over the past 7 years there has been an explosion of research activity into materials for MicroElectroMechanical Systems (MEMS). This paper reviews the current issues associated with materials for MEMS. Five topical areas are addressed: the effect of leng

机译：在过去的7年中，针对微机电系统（MEMS）的材料的研究活动激增。本文回顾了与MEMS材料相关的当前问题。解决了五个主题领域：冷感

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来源
《Journal of the Indian Institute of Science》 |2012年第3期|共1页
作者
Liudi Jiang; S Mark Spearing;
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原文格式 PDF
正文语种
中图分类自然科学总论;
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