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机译:氮气流量对反应磁控溅射沉积ZrN薄膜相变结构的影响
机译:溅射参数和氮对直流反应磁控溅射沉积在钢基底上的氮化铬薄膜微观结构的影响
机译:Al含量,衬底温度和氮气流速对反应磁控溅射制备的纳米结构TiAlN薄膜光学带隙和光学特性的影响
机译:Al含量,衬底温度和氮气流量对TiAlN薄膜中反应磁控管共溅射纳米结构的影响,该薄膜打算用作DRAM中的阻挡材料
机译:通过反应磁控溅射对沉积在β型Ti-15MO-3N-3AL-0.2SI合金基板上的锡薄膜结构和性能的影响
机译:通过反应磁控溅射沉积的亚稳态钛(0.5)铝(0.5)铝合金薄膜的物理性能。
机译:射频磁控反应共溅射沉积CaO–CoO薄膜的两相转变法生长CaxCoO2薄膜
机译:反应磁控溅射制备ZRN,CRN和TIaLN薄膜的摩擦学研究