机译:具有片上集成MEMS / NEMS执行器的机械可调光子器件
机译:基于纳米摩擦学的新型表征技术,用于利用力距曲线测量静电驱动的NEMS / MEMS器件中的介电充电失效机理
机译:通过表面改性对Tribo-Si和SU8材料进行功能化,以用于基于MEMS / NEMS执行器的设备
机译:基于共集成MEMS执行器和光波导的器件:综述
机译:利用集成的MEMS / NEMS执行器对光子微/纳米腔进行共振调谐
机译:光子互连光子装置和光子集成电路的建模与RF光子前端应用
机译:基于共集成MEMS执行器和光波导的器件:综述
机译:具有片上集成mEms / NEms执行器的机械可调谐光子器件
机译:用于片上光子系统的集成磁光器件。