Sinteriza??o de filmes finos de LiNbO3 em forno microondas: estudo da influência da dire??o do fluxo de calor

摘要

Filmes finos de LiNbO3 foram preparados pelo método dos precursores poliméricos e depositados por "spin coating" sobre substratos de safira (0001). Os filmes foram tratados em forno microondas doméstico a 400 oC por 15 e 20 min. Um material com alta perda dielétrica (susceptor de SiC) foi usado para absorver energia das microondas e transformá-la em calor. Este calor foi transferido para o filme a fim de promover a sua cristaliza??o. O susceptor foi posicionado acima do filme ou embaixo do substrato. Desta forma, a influência da dire??o do fluxo de calor na cristaliza??o das amostras foi verificada. Os filmes foram caracterizados por difra??o de raios X, microscopia de for?a at?mica e espectrofotometria (transmitancia) na regi?o UV-visível e o índice de refra??o foi determinado por elipsometria. O crescimento epitaxial foi observado para o filme com susceptor posicionado embaixo do substrato. Verificou-se que os gr?os apresentaram crescimento aleatório quando o susceptor foi posicionado acima do filme. Os filmes apresentaram-se relativamente densos, homogêneos e lisos, com boas propriedades ópticas.