行波磁场作用下晶硅铸锭炉中的传热流动特性加热器生成磁场作用下铸锭炉中硅熔体的流动特性

摘要

外加行波磁场能够主动控制硅熔体流动结构及强度、等温线形状、以及铸锭内部氧杂质浓度及分布，在晶体生长的不同阶段可设置不同的行波磁场参数，以全面在晶体生长的不同阶段可设置不同的行波磁场参数，以全面有效调控熔体流动，加热器生成磁场能够显著影响硅熔体流动结构及强度，并进一步影响温度分布及晶体生长过程，应该予以考虑，实际生产中可设计合理的加热器形状及电极连接方式，以有效控制硅熔体流动。