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机译:调度双武装群集工具以同时处理多个晶圆类型并同时处理工作流程
Govt Complex Gwacheon Def Acquisit Program Adm Gwacheon 13809 South Korea;
NYU Leonard N Stern Sch Business New York NY 10012 USA;
Korea Adv Inst Sci & Technol Dept Ind & Syst Engn Daejeon 34141 South Korea;
Chamber sharing; cluster tool; concurrent processing; multiple wafer types; parallel chambers; scheduling;
机译:调度双臂集群工具,用于同时处理具有相同作业流的多个晶片类型
机译:双武装群工具中多种晶片混合处理的调度与优化
机译:多晶片类型的双臂多集群工具调度问题等效转换方法
机译:并行处理多种晶圆类型的集群工具挑战的智能调度方法*
机译:在相同的并行计算机上,每个作业的多目标多订单计划。
机译:在不相关的并行机上调度具有可变作业处理时间的作业
机译:晶圆居住时间和MEPESPAN最小化双臂集群工具的非环状调度
机译:具有多种作业类型的可重构群集中的最优服务器分配