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机译:晶圆居住时间和MEPESPAN最小化双臂集群工具的非环状调度
Masaru Sakai; Tatsushi Nishi;
机译:双臂集群工具的非环状调度,用于最小化晶圆居住时间和MEPESPAN:
机译:具有驻留时间和可重入约束的双臂集群工具调度算法
机译:基于新型计划的具有晶圆回访和驻留时间约束的双臂集群工具的可调度性和调度分析
机译:双臂集群工具的非循环调度,可双向减少晶圆停留时间和制造时间
机译:无关的并行机器调度,具有与序列有关的设置时间和机器合格限制,可最大程度地缩短制造周期。
机译:具有两个竞争代理的单机调度可最大程度地减少总完成时间和拖延时间
机译:时间约束双臂集群工具的调度分析
机译:具有晶圆驻留时间限制的单臂集群工具的关闭过程的最佳调度
机译:具有晶圆驻留时间约束的单臂集群工具的关闭过程优化调度
机译:具有晶圆重访和驻留时间限制的单臂集群工具的调度方法
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