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机译:具有聚焦离子束植入和选择性化学蚀刻的功能3D微型纳米架构的外观制造
Indian Inst Technol IITB Monash Res Acad Mumbai Maharashtra India|Indian Inst Technol Dept Mech Engn Mumbai Maharashtra India|Monash Univ Dept Mech & Aerosp Engn Clayton Vic Australia;
Indian Inst Technol Dept Mech Engn Mumbai Maharashtra India;
Monash Univ Dept Mech & Aerosp Engn Clayton Vic Australia;
Focused ion beam; Nano-fabrication; 3D micro-nano architectures; Ion implantation; Wet chemical etching;
机译:通过局部聚焦离子束注入和深反应离子刻蚀在硅基板上制备高纵横比的纳米通道
机译:使用聚焦离子束注入和反应离子刻蚀制造硅微结构
机译:使用聚焦离子束注入和反应离子刻蚀制造硅微结构
机译:聚焦离子束损伤的GaAs衬底的低损伤各向异性自由基束离子束刻蚀和选择性化学刻蚀
机译:通过聚焦离子束诱导的选择性混合和湿法化学蚀刻形成光通道波导:设计,制造和表征。
机译:通过溶剂辅助UV闪光的多功能表面的自相似分层微纳米结构的外观制造
机译:用Femtosecond激光器使用的微纳米结构光纤传感器的制造与选择性化学蚀刻相结合