机译:氢等离子体增强浅结中硼的活化
Department of Engineering Science, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802;
机译:等离子体注入的超浅结硼深度分布:等离子体化学和鞘层条件的影响
机译:等离子体注入硼的非熔融激光退火用于硅中的超浅结
机译:等离子体注入硼的激光退火用于硅中的超浅结
机译:氢增强浅结中的硼活化
机译:超浅硼在锗中的注入和活化。
机译:通过等离子体处理隔离六方氮化硼气泡中的氢
机译:用于超浅结形成的CVD Delta掺杂硼表面层