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机译:使用天然氧化物和氮化硅层对硅进行高质量的表面钝化
Department of Electrical and Computer Engineering, University of Toronto, 10 King's College Road, Toronto,Ontario M5S 3G4, Canada;
Department of Electrical and Computer Engineering, University of Toronto, 10 King's College Road, Toronto,Ontario M5S 3G4, Canada;
Department of Material Science and Engineering, University of Toronto, Toronto, Ontario M5S 3G4, Canada;
机译:使用天然氧化物和氮化硅层对硅进行高质量的表面钝化
机译:通过等离子体增强化学气相沉积双层富硅氧氮化硅和氮化硅的表面钝化结晶硅
机译:作为晶体硅太阳能电池钝化层的氧化硅和氮化硅涂层的电容电压特性及其抗x辐射稳定性的研究
机译:通过富含含硅氧化硅/ ER掺杂的氮化硅多层多层的NC-Si的高质量氧化物钝化和抑制ER去活化的同时实现
机译:氮化硅(氢)层对多晶硅太阳能电池的表面和整体钝化:建模和实验。
机译:隧穿原子层沉积氧化铝:硅结的表面钝化的相关结构/电性能研究
机译:利用多功能扩展热等离子体技术获得高质量沉积的氮化硅,二氧化硅和非晶硅获得的高质量表面钝化
机译:通过快速热氧化物/ pECVD氮化硅叠层有效钝化低电阻率硅表面及其在钝化后部和双面si太阳能电池中的应用