机译:通过原子层沉积法沉积的非晶亚纳米Al_2O_3-TiO_2层状电介质的电学特性和导电机理
CRISMAT, UMR6508 CNRS-ENSICAEN-Normandie Universite, 14050 Caen Cedex 4, France;
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机译:通过热原子层沉积沉积的Al2O3薄膜的电传导机制和介电弛豫
机译:高密度等离子体化学气相沉积法沉积氮化非晶碳膜的导电机理
机译:原子层沉积沉积的Zr-硅酸盐介电层的物理和电学性质
机译:难以观察通过亚稳金属膜上原子层沉积沉积的非晶态高k介电薄膜的表面平滑效果
机译:原子层在氮化铟上沉积的高k电介质的电性能。
机译:等离子体增强原子层沉积在低温下沉积的HfO2薄膜的结构光学和电学性质
机译:通过空心 - 阴极等离子体辅助原子层沉积生长AlN薄膜的导电和介电弛豫特性