机译:接近使用声子晶体系链的微机械体声谐振器的固有品质因数极限
National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, Maryland 20899, USA,Electrical Engineering and Computer Science Department, University of Michigan, Ann Arbor,Michigan 48109, USA;
National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, Maryland 20899, USA;
机译:宽声带隙固体盘形声子晶体锚固边界,用于提高AlN-on-Si MEMS谐振器的品质因数
机译:通过紧凑的声子晶体谐振器实现硅中的频率品质因数乘积极限
机译:高度解耦的单晶硅谐振器:一种固有品质因数的方法
机译:ALN压电对硅谐振器中频率选择性质量因子增强函声晶系的设计
机译:用于生物传感应用的液体环境中高质量因子的薄膜体声谐振器。
机译:接近使用声子晶体系链的微机械体声谐振器的固有品质因数极限
机译:用于提高AlN硅压电谐振器频率选择品质因数的声子晶体束线的设计