electrostatic membrane MEMS devices; electrostatic actuator; boundary non-linear differential problems; singularities; curvature; ghost solutions; stability; optimal control;
机译:使用人工弹簧Inrayleigh-Ritz方法对MEMS设备中的静电场进行建模
机译:静电MEM的有限元建模,包括交叉场效应对力的影响
机译:静电微机电系统建模综述
机译:耦合现场分析静电梳理驱动致动器利用减少阶型建模原理
机译:用于膜型MEMS器件的多晶和非晶碳化硅薄膜的开发。
机译:静电微机电系统建模综述
机译:静电MEMS的有限元建模,包括边缘场效应对力的影响